-新闻中心-稷以演讲回顾 | 异构封装中金属化互联面临的挑战
稷以演讲回顾 | 异构封装中金属化互联面临的挑战
2024年11月28~29日,由厦门云天半导体与厦门大学联合主办、雅时国际商讯承办、厦门市集成电路行业协会协办“第二届半导体先进封测产业技术创新大会”在厦门召开。
电化学沉积设备产品技术总监黎恩源带来了“异构封装中金属化互联面临的挑战”的主题演讲。黎总监主要介绍了在先进制造程序中,比如HBM TSV及CoWoS技术中的异构集成工艺,对电化学沉积,刻蚀以及去胶工艺带来的应用挑战。
从客户端的产品应用技术(HBM或3D堆叠)出发,提出了稷以科技可向业界提供高阶的电化学沉积设备(垂直JETCyber及水平JETPunk)、深硅蚀刻(JETKepler)及Liner ALD(Proxima)产品的解决方案。
稷以科技一直深耕国产化产品研发,专注于为集成电路行业提供等离子体设备与真空热技术设备。稷以科技将持续深入探索半导体制造工艺的前沿技术,为中国先进制造和半导体先进制程设备贡献自己的力量。