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Hestia 全自动等离子处理系统 SEMICON CHINA2018首次展出

SEMI中国举办的行业最高规格的SEMICON China展览, 2018年已经成功举办了30年。同时SEMICON China已成为中国首要的半导体行业盛事之一,覆盖了IC设计、制造、封装测试、EDA/IP及设备材料等产业链的所有环节。

公司在扩大升级了核心工程和研发部门后,通过展示的设备工艺演示,更好地了解等离子体的工艺制作及设备与现实生产稷以科技的Hesita 全自动等离子处理系统也在此展会上首次展出。 本自动化等离子处理系统是基于半导体及精密加工行业客户的使用需求而设计的等离子处理品平台。紧凑的工艺腔体可以实现极佳的处理效率与高度均一的处理效果,自动化的工艺与传输过程最大限度减少了生产中人为干预所带来的外部污染,并可实现自动化以及在线式的等离子处理。