近日，上海市第一批高新技术成果转化项目揭晓，稷以科技研发的“等离子去胶机 Virgo”和“等离子清洗机Triton”两个项目获得了高转项目认定公示成功入选。

     “Virgo 等离子体去胶设备”是适用于硅基半导体及化合物半导体前后道的等离子体去胶设备，可进行光刻胶灰化/残胶去除和表面处理。

     “Triton160 炉式等离子体清洗机”是面向大半导体市场工业级客户与研发型客户使用需求设计的炉式等离子体清洗机，适用于等离子清洗、活化以及刻蚀等多种应用场景。

       目前，两种设备均已在行业内的众多半导体厂商投入使用。 这一殊荣是对稷以科技自主研发和创新成果的肯定，也将助力稷以科技持续创新，为国产半导体产业升级做出更大的贡献。